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橢偏儀 (VB-400)


儀器名稱

VASE橢偏儀

(VB-400)

 

型號

美國J.A.Woollam公司

VB-400

主要規格

及技術指標

主要性能參數:  光譜范圍:250 ~ 1700 nm。 入射角:15 ~ 90°。  數據采樣速率:典型——0.1 ~ 3 s/nm;高精度模式——20 s/nm。

材料要求


主要功能

及應用范圍

主要性能參數:光譜范圍:250 ~ 1700 nm。 入射角:15 ~ 90°。  數據采樣速率:典型——0.1 ~ 3 s/nm;高精度模式——20 s/nm。   用途:基本應用:單、多薄膜折射率及膜厚測量,塊材的折射率測量;相位延遲測量。 擴展應用:表面粗糙,組分比、折射率梯度分布、膜面均勻性、光學各項異性測量。  

應用領域:半導體、光伏產業、平板顯示、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學鍍膜和保護膜、減反膜、透明導電膜、聚合物膜、自組裝膜、光刻材料等。

測試項目

膜厚、折射率250 元/樣   反射率、透射率 250 元/樣

相位延遲 250 元/樣

(每個樣品取一個點;取多點按照多個樣品進行計算;多層膜測試請事先與老師聯系)

VASE橢偏儀(VB-400)